一、产品特点及用途
1.产品特点
该设备是一种新型工业级干燥设备,采用长轴耐高温大功率轴流风机,不锈钢涡轮扇叶,结合独特设计风道,智能PID温控器结合SSR固态继电器控制高效不锈钢发热器加热,形成温度均匀的高温热风,对箱体内部进行加热,确保烘箱内部达到理想的温度环境。
2. 产品用途
产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
二、产品详细参数
1.箱体结构
1.1.内部材质:采用SUS304 1.5mm厚之镜面不锈钢板,满焊处理,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE。
1.2.外部材质:外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑,耐刮伤,造型美观。
1.3.保温材质:采用100K高级保温棉,六面保温断热,保温厚度为80mm-120mm,保温性能好。
1.4. 箱门结构:箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧,保温性能好,抗老化,环保无污染。
1.5. 载物层架:可根据物品大小调节层间距,空间利用率高。
2. 温度控制系统:采用日台湾威纶通PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面,定值/程序(程控100段)两种控制模式,带传感器断线报警功能,带超温警报保护功能,确保产品运行安全。
3. 控温方式
3.1.讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。
3.2.输出被控组件:SSR固态无节点输出,确保加热功率精准。
4. 箱内热风循环系统
4.1. 送风方式:箱内采用单向水平运风,两侧风道内强压送风。
4.2. 风道结构:风道两侧采用高密度冲孔风板,精准控制导流板角度,确保箱内温度均匀性。
4.3. 送风装置:采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶,涡轮经水平纠正处理,确保运风平稳 ,噪声≤65dB。
4.4. 送风装置安全保护系统:带超温过载过流保护功能,确保马达及风机的使用寿命和安全性能。
4.5电加热系统:采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器,洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套,高绝缘导热改性氧化镁浇筑,无名火,安全不漏电)
5.氧含量控制系统
5.1氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路,各向箱内提供100L/min + 200L/min的氮气,每路配套进口电磁阀,双流量自动切换,在箱内达到无氧环境
后,自动切换至低流量氮气,大大节省氮气消耗量,也可根据工艺制程要求,自行设定,满足多种工艺需求。
5.2 排氧时间≤30 min,带耐高温氧含量控制仪,氧化锆氧含量传感器,耐高温自吸泵一套,可实时检测氧含量并显示实际数值,配备氧含量超标报警功能。
6.整机安全保护系统
6.1. 采用三重超温保护系统,确保箱体在运行过程中的整体安全性能(详见技术参数)。
6.2. 箱体内部电器保护系统(确保箱体内部电器运行平稳,安全可靠):
6.2.1.超温防止器(独立限温,超温断电);
6.2.2.相序保护(欠压欠相保护);
6.2.3.马达过电流保护;
6.2.4.控制线路保险丝;
6.2.5.电热过电流保护;
6.2.6.无熔丝开关。
型号BC-WYX150ABC-WYX360ABC-WYX480ABC-WYX800ABC-WYX1000A温度范围RT(常温)+10~200℃/250℃/300℃ (可订制最高温度600℃)温度分辨率0.1℃温度波动度±1.0℃温度均匀性≤±1.5%氧含量20ppm/50ppm/100ppm/2000ppm容积180L360L480L800L1000L内胆尺寸(宽W*深D*高H)mm600×500×600600×600×1000800×600×10001000×800×10001000×800×1200外部尺寸(宽W*深D*高H)mm960×690×1460960×790×17801160×790×17801320×1050×17801320×1050×1980层板数量2块2块3块3块4块功率5KW7.5KW9KW12KW15KW电源电压AC 380V 50HZ(三相五线制)无氧烘箱规格一览表:
备注: 1. 以上所有机型外观尺寸仅供参考,实际尺寸以实物为准; 2. 产品内部尺寸可根据客户要求进行非标定制。
选配组件:
1.程序多段控温:可配置程序型温度控制器,最大实现100段程序控温。
2.测试孔:可在侧面加装Φ50mm测试孔。
3.无纸多点温度记录仪:可配置无纸多点温度记录仪(4/6/9/12通道),可实时监控记录温度变化.
4.快速降温功能:风冷+水冷。
5.可加装MES系统。
双腔无氧烘箱实物照片