一、产品特点及用途
1.产品特点
该设备是一种新型工业级干燥设备，采用长轴耐高温大功率轴流风机，不锈钢涡轮扇叶，结合独特设计风道，智能PID温控器结合SSR固态继电器控制高效不锈钢发热器加热，形成温度均匀的高温热风，对箱体内部进行加热，确保烘箱内部达到理想的温度环境。
2. 产品用途
产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
二、产品详细参数
1.箱体结构
1.1.内部材质：采用SUS304 1.5mm厚之镜面不锈钢板，满焊处理，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE。
1.2.外部材质：外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑，耐刮伤，造型美观。
1.3.保温材质：采用100K高级保温棉，六面保温断热，保温厚度为80mm-120mm，保温性能好。
1.4. 箱门结构：箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧，保温性能好，抗老化，环保无污染。
1.5. 载物层架：可根据物品大小调节层间距，空间利用率高。
2. 温度控制系统：采用日台湾威纶通PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面，定值/程序（程控100段）两种控制模式，带传感器断线报警功能，带超温警报保护功能，确保产品运行安全。
3. 控温方式
3.1.讯号来源：采日制进口CA感应棒±0.5%。
3.2.输出被控组件：SSR固态无节点输出，确保加热功率精准。
4. 箱内热风循环系统
4.1. 送风方式：箱内采用单向水平运风，两侧风道内强压送风。
4.2. 风道结构：风道两侧采用高密度冲孔风板，精准控制导流板角度，确保箱内温度均匀性。
4.3. 送风装置：采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶，涡轮经水平纠正处理，确保运风平稳 ，噪声≤65dB。
4.4. 送风装置安全保护系统：带超温过载过流保护功能，确保马达及风机的使用寿命和安全性能。
4.5电加热系统：采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器，洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套，高绝缘导热改性氧化镁浇筑，无名火，安全不漏电）
5.氧含量控制系统
5.1氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路，各向箱内提供100L/min + 200L/min的氮气，每路配套进口电磁阀，双流量自动切换，在箱内达到无氧环境
后，自动切换至低流量氮气，大大节省氮气消耗量，也可根据工艺制程要求，自行设定，满足多种工艺需求。
5.2 排氧时间≤30 min，带耐高温氧含量控制仪，氧化锆氧含量传感器，耐高温自吸泵一套，可实时检测氧含量并显示实际数值，配备氧含量超标报警功能。
6.整机安全保护系统
6.1. 采用三重超温保护系统，确保箱体在运行过程中的整体安全性能（详见技术参数）。
6.2. 箱体内部电器保护系统（确保箱体内部电器运行平稳，安全可靠）：
6.2.1.超温防止器（独立限温，超温断电）；
6.2.2.相序保护（欠压欠相保护）；
6.2.3.马达过电流保护；
6.2.4.控制线路保险丝；
6.2.5.电热过电流保护；
6.2.6.无熔丝开关。
型号BC-WYX150ABC-WYX360ABC-WYX480ABC-WYX800ABC-WYX1000A温度范围RT(常温）+10~200℃/250℃/300℃ (可订制最高温度600℃）温度分辨率0.1℃温度波动度±1.0℃温度均匀性≤±1.5%氧含量20ppm/50ppm/100ppm/2000ppm容积180L360L480L800L1000L内胆尺寸（宽W*深D*高H）mm600×500×600600×600×1000800×600×10001000×800×10001000×800×1200外部尺寸（宽W*深D*高H）mm960×690×1460960×790×17801160×790×17801320×1050×17801320×1050×1980层板数量2块2块3块3块4块功率5KW7.5KW9KW12KW15KW电源电压AC 380V 50HZ（三相五线制）无氧烘箱规格一览表：
备注： 1. 以上所有机型外观尺寸仅供参考，实际尺寸以实物为准； 2. 产品内部尺寸可根据客户要求进行非标定制。
选配组件：
1.程序多段控温：可配置程序型温度控制器，最大实现100段程序控温。
2.测试孔：可在侧面加装Φ50mm测试孔。
3.无纸多点温度记录仪：可配置无纸多点温度记录仪（4/6/9/12通道），可实时监控记录温度变化.
4.快速降温功能：风冷+水冷。
5.可加装MES系统。
双腔无氧烘箱实物照片
