一、密封系统检查与处理密封条
观察密封条是否有裂纹、变形，密封面是否附着灰尘或油污。可用肥皂水检测漏点，出现气泡即存在泄漏。
二、管路连接处泄漏
检查真空管路接头是否松动，阀门密封圈是否老化。分段测试管路抽真空效率，若某段耗时明显延长，可能存在堵塞或泄漏。
三、真空泵系统维护泵油状态检查
油位不足或油质劣化（发黑、浑浊）会导致抽气能力下降。需补充专用真空泵油（如N68型号）并清洁油腔。泵体性能检测若泵运行时出现异响，可能是叶片磨损，需专业维修。
四、内胆与样品排查内胆漏气检测可在箱内倒水后抽真空，翻转观察气泡产生位置；或用氮气测试漏点，泡沫持续胀大处即为泄漏点。
五、样品放气影响多孔材料（如塑料、橡胶）或潮湿样品会释放气体。建议空载测试，若真空度达标则需预处理样品（如烘干）。
六、其他注意事项加热元件固定螺钉松动可能导致漏气，需拆开后隔板检查并紧固。氦质谱检漏法灵敏度高，适合高真空系统，可将检漏时间从数小时缩短至30分钟。
